실리콘 열처리로
실리콘 열처리로 제작사양
- Product : SI 잉곳,ALN 기판
- Working Temperature : Max 900℃
- Work Zone : 800 (W)× 800(D)× 800(H)
- Temp. Control : 3 Zone P.I.D Control
- Heater : SiC Heater
- Insulation : Ceramic board
- Option : N2퍼지,강제냉각 (30분내 상온)
- Atmosphere : Air
- Sample Loading : Bottom Loading
- 자동 3공정 열처리